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Der EMITECH Kühltisch findet Anwendung bei REM, ESEM oder VP REM. Der
Kühltisch wird einfach gegen den normalen Probentisch im REM
ausgetauscht. Voraussetzung ist ein freier Port an der Mikroskopkammer
für die vakuumdichte Durchführung der Versorgungsleitungen. Die
Verfahrwege von X, Y, Z und Kippung werden nur geringfügig
eingeschränkt.
Falls der Kühltisch nicht benötigt wird kann er in der Mikroskopkammer
verbleiben und gegen den normalen Probentisch getauscht und werden.
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