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Aufdampfanlage fuer Widerstandsverdampfung von Kohlenstoff (Kohlefaden/Kohlestab) oder Metalle
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Aufdampfanlagen bieten für
die Beschichtung für REM und TEM drei Möglichkeiten - mit Kohlestab,
Kohlefaden oder Metall. Für die energiedispersive (EDX) und
wellenlängendispersive (WDX)Röntgenanalyse hat
sich die Beschichtung mit Kohlefaden bewährt. Für diese Anwendung ist in
der Regel eine Verdampfung unter Vorvakuum ausreichend. Der Vorgang ist sehr gut
reproduzierbar und die im Faden enthaltene Kohlenstoffmenge ist in aller
Regel für Proben mit nicht zu hoher Topographie ausreichend. Kohlefaden
gibt es in unterschiedlichen Stärken, die entsprechend mehr oder weniger
Kohlenstoff enthält. Je nach Anwendung kann eine andere Fadenstärke
eingesetzt werden. Die Schichtdicke mit Kohlefaden ist sehr gut
reproduzierbar. Der Umgang mit dem Faden problemlos wenn man Luft und
Feuchtigkeit bei der Lagerung ausschließt. Schichtdicken mit Kohlestab können schwanken. Die
folgenden Parameter haben einen Einfluss auf die Schichtdicke:
1. Federspannung mit der die beiden Kohlestäbe zusammengedrückt
werden
2. Länge der Spitze
3. Dauer bis Transformator auf voller Leistung ist
4. Impulsdauer
Metallverdampfungen
gelingen in Wolframkörbchen oder Schiffchen nur unter Hochvakuum.
Quorum Technologies bietet eine neue
Geräteserie mit der Bezeichnung Q150 an.
Vorvakuum:
CC7650 Kohlebeschichter
für Kohlefaden oder Kohlestab
Q150R
Kohlebeschichter für Kohlefaden oder Kohlestab Hochvakuum:
Q150T
Kohlebeschichter für Kohlefaden oder Kohlestab oder
Metalle
K975X Kohlebeschichter
für Kohlefaden oder Kohlestab oder Metalle,
2 Metallverdampfungsquellen möglich, bis Probendurchmesser 200 mm
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zum
Anfang
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CC7650
Carbon
Coater für die Beschichtung in der EDX- und WDX-Analyse oder für
Proben mit hoher Topographie (z.B. biologische Proben). Da die Kohlenstoffkontamination
des Rezipienten relativ hoch ist, empfiehlt es sich immer, für Kohlenstoffverdampfung
und Sputterschichten getrennte Geräte einzusetzen.
Das gleiche Gerät kann mit verschiedenen Kopfplatten sowohl für
die Kohlefaden oder Kohlestabbeschichtung eingesetzt werden - die Stromversorgung
ist identisch.
CC7650F Kohlefadenbeschichter
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großer Rezipient, Ø 150 mm x h 135 mm
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gleichzeitige Beschichtung von 6 Proben
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Fadenhalterung für "string" oder "fibre"
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einschwenkbares Wärmeschutzschild zum Ausgasen
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höhenverstellbare Probenbühne (nicht bei Rota Cota)
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Bedienung für START, AUSGASEN, BESCHICHTEN & STOP
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Spannung 20V/50V für Kohlefaden
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EMITECH Aufdampfanlagen
zum
Anfang
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- K975X Kohle-/Metallbeschichtung unter
Hochvakuum,
mehrere Verdampfungsquellen
- Probenbeschickung über Schublade (6") oder von oben
(8")
- großer Rezipient, 250 mm Æ
x 300 mm h
- Kohlestabhalterung in Höhe und Winke (0-20°) verstellbar, 6.15 mm
Kohlestäbe
- Kohlenstoff und Kohlenstoff/Platin Verdampfung
- Probenbühne mit einstellbarem Neigungswinkel 0-45°
Option: rotierende Probenbühne mit externer
Neigungswinkelverstellung
0-45° und einstellbarer Rotationsgeschwindigkeit
15 - 40 U/min
(EK4205)
- Hochvakuum durch Turbomolekularpumpe, 100 l/sec, automatische
Pumpsequenz
- Vakuumanzeige bis 10-7 mbar
- 4 Verdampfungseinstellungen - 5V / 15V / 25V @ 15A & 7v @ 100A
- Schichtdickenmonitor für Kohle- und Metallbeschichtung
- Mikrokontroller mit LCD-Anzeige für Eingabe von Prozessparametern
oder Prozessstatus
Option: Sputter Coater-Zusatz mit Au-Target, Option von Au/Pd, Pt, Cr,
Ni, Cu, Ag, etc., Æ
57 mm
Gewicht 65 kg, 450 mm b x 500 mm t x 700 mm h
- K975S
- gleiche technische Daten wie K975X aber mit spezieller Schublade für
8" Wafer
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Aufdampfanlage/Kohlebeschichtung Gefriertrockner
Glow
Discharge
Kritisch-Punkt-Trockner
Kryopräparationsanlage Kühltisch
REM Plasmareiniger
Sputter
Coater
zum
Anfang
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(Bild) 
