- sehr großer Rezipient für z.B. Wafer Æ
250 mm
- Kohlestab Æ
3.05 mm
- Kohlenstoffquelle in Höhe und Neigung (bis 20°) justierbar
- Kopfplatte mit Scharnier zum leichten Reinigen
- Probentisch mit einstellbarem Neigungswinkel 0° - 45 °
- Turbomolekularpumpe 100 l/s
- Schublade für Probenwechsel
- Parametereingabe über Menüs, Anzeige auf LCD-Monitor
Option: rotierende Probenbühne, Kühlfalle flüssig-Stickstoff,
Sputter-Zusatz, Schichtdickenmonitor, Glow Discharge
Gewicht 65 kg, 450 mm b x 500 mm t x 600 mm h