Carbon Coater, Kohlebeschichtung {REM}

Carbon Coater für die Beschichtung in der EDX- und WDX-Analyse oder für Proben mit hoher Topographie (z.B. biologische Proben). Ein Gerät kann mit verschiedenen Kopfplatten sowohl für die Kohlefaden als auch Kohlestabbeschichtung eingesetzt werden - die Stromversorgung ist identisch.

Kohlebeschichter

CC7650 Kohlebeschichtung Kohlefaden/Kohlestab, Vorpumpenvakuum für EDX/WDX
Q150R E Kohlebeschichtung Kohlefaden/Kohlestab, Automatik, Vorpumpenvakuum für EDX/WDX
Q150T E Kohlestab, Kohlefaden oder Metallbeschichtung mit Automatik, Hochvakuum
K975X / K975S Kohlestab, Kohlefaden oder Metallbeschichtung unter Hochvakuum
für Wafer bis 8"

EMITECH K975X Kohlebeschichter unter Hochvakuum

K975X Kohlebeschichter mit Hochvakuum

- sehr großer Rezipient für z.B. Wafer Æ 250 mm
- Kohlestab Æ 3.05 mm
- Kohlenstoffquelle in Höhe und Neigung (bis 20°) justierbar
- Kopfplatte mit Scharnier zum leichten Reinigen
- Probentisch mit einstellbarem Neigungswinkel 0° - 45 °
- Turbomolekularpumpe 100 l/s
- Schublade für Probenwechsel
- Parametereingabe über Menüs, Anzeige auf LCD-Monitor

Option: rotierende Probenbühne, Kühlfalle flüssig-Stickstoff, Sputter-Zusatz, Schichtdickenmonitor, Glow Discharge
Gewicht 65 kg, 450 mm b x 500 mm t x 600 mm h

K975S Kohlebeschichter unter Hochvakuum

- wie K975X aber mit spezieller Schublade für 8" Wafer
(speziell für F.I.B)

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Aufdampfanlage Carbon Coater Gefriertrockner   Glow Discharge   Kritisch-Punkt-Trockner
Kryopräparationsanlage  Kühltisch REM   Plasmareiniger Schichtdickenmonitor Sputter Coater

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Ý zum Anfang www.sputtercoating.com www.criticalpointdryer.com www.electron-microscopy.com

www.sputtercoater.com

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[07.07.2010 ]
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