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REM Kühltisch für Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskope
(Low pressure, variable pressure, environmental, Umwelt-REM)
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Der Kühltisch ist ein temperaturgesteuerter Probenhalter
und kann bei jedem Rasterelektronenmikroskop nachgerüstet werden. Der
modifizierte Probentisch ist vom REM-Originaltisch thermisch entkoppelt
und verfügt über ein einstufiges Peltierelement, zwei Temperaturfühler,
Vakuumdurchführung, Wasserkühlung, Stromversorgung und eine Tastatur
für Temperaturanzeige und -kontrolle.
Der einstellbare Temperaturbereich recht von -15°C bis +50°C bei
einem Kammerdruck von 300 Pa/3mbar. Das Peltierelement des Probenhalters
wird von einem geschlossenen Wasserkreislauf gekühlt, die
Schlauchlänge beträgt ca. 2m. Besonderer Wert wurde auf minimalen Drift
durch Temperaturänderung gelegt, sodass auch bei hoher Vergrößerung ein
stabiles Bild möglich wird. Eine integrierte RS-232-Schnittstelle erlaubt
die Temperatureinstellung und -kontrolle von der REM-Konsole.
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Warum Probenkühlung?
Durch den zunehmenden Einsatz von Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskopen
stieg auch das Verlangen, die Wasserverdampfung feuchter Proben zu
kontrollieren und beobachten. Durch die Möglichkeit des Einfrierens einer
feuchten Probe kann die Wasserverdampfung verlangsamt bis verhindert
werden.
Bei Zimmertemperatur und normalem Luftdruck verändern sich Proben oft
drastisch durch die hohe Verdampfungsrate und zerstören somit feinste
Strukturen durch die Oberflächenspannung des Wassers. Bei einem Druck 3
mbar muss die Probentemperatur mindestens -9,5°C, bei 0,85 mbar
mindestens -25°C, betragen um die Wasserverdampfung zu stoppen.
Allerdings muss bei diesen Analysenbedingungen auch ein flaues Bild in
Kauf genommen werden. |
Mehr Information (englisch)
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(Bild)
