Ionenmuehle oder Ion mill für Boeschungsaetzen oder Endpolieren von Proben mit unterschielicher Zusammensetzung

Technoorg Linda

Der Spezialist für Slope Cutting, Ionendünnen und Oberflächenpolieren für REM und TEM

GaLa Instrumente GmbH ist die offizielle Vertretung von Technoorg Linda in Deutschland.

Ionenmühle für Böschungsätzen, Querschnitte und Endpolieren in der Rasterelektronenmikroskopie

REM, EBSD und FIB Probenpräparation in der

Materialwissenschaft
Nanotechnologie
Halbleiterindustrie
für
Schnelles Abtragen mit hohen Energien
Trimmen und Säubern von FIB-Proben
Schrägschneiden und Säubern von REM-Proben
Geringenergetische Ionenkanonen für analytische Anwendungen und Endpolieren (EBSD, AES, UPS, XPS und SIMS)

Das System SC-1000 REM Präparationssystem ist für die Anwendung mit dem Rasterelektronenmikroskop optimiert. Das Gerät verfügt über eine hochenergetische Ionenkanone für einen schnellen Abtrag und über eine niederenergetische Ionenkanone zum Polieren oder Reinigen der Oberfläche. Das Endpolieren von besonders empfindlichen Materialoberflächen gelingt einfach und schnell. Das Gerät arbeitet automatisch mit den eingestellten Parametern. Die Probenbühne kann sowohl rotieren als auch oszillieren. Der Prozess kann in Echtzeit mit einer Videokamera mit hoher Auflösung auf einem Monitor kontrolliert und verfolgt werden. ñ Anfang
Schematische Darstellung für Böschungsätzen	Querschnitt Zink auf Stahl bei 45°

Schematische Darstellung Polieren	Kristallorientierung, inverse Polfigur Kupfer


Mechanisch geschliffen & poliert Bildqualität (IQ)=30	Gleiche Probe ionenstrahlpoliert Bildqualität (IQ)=30

SC-1000

- Fokussierte hochenergetische Ionenkanone, variabel von 2keV bis 10keV

- Fokussierte niederenergetische Ionenkanone, variabel von 100eV bis 2keV

- Strahldichte: max. 240mA/cm² (hochenergetische Ionenkanone)
max. 10mA/cm² (niederenergetische Ionenkanone)

- Sputterrate: 180µm/h bei Silizium @ 30° (hochenergetische Ionenkanone)
28µm/h bei Silizium @ 30° (niederenergetische Ionenkanone)

- Probengröße: Slope Cutting Probenhalter max. 20mm b x 20mm t x 40mm h
Oberfläche Polieren (z.B. EBSD) max. Ø 25mm x 15mm h

- Präzisionsprobenhalter für Slope Cutting mit 2µm Präzision (Option)

- Probenkippung 0° - 30°

- Probenrotation 360°

- Probenoszillation 10° - 40°

- Turbomolekularpumpe mit Membranvorpumpe

- Vakuummesseinrichtung Pirani & Penning

- Gasversorgung: Prozessgas Argon 5.0 mit hochpräziser Gasdurchflusskontrolle und
motorisiertem Nadelventil

- Hochauflösende CCD-Kamera mit manuellem Zoom, 50x – 400x

- PC-Steuerung mit einfacher Bedienerschnittstelle für Eingabe und Kontrolle der
Prozessparameter

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