Plasmaverascher / Plasmaätzer / Plasmareiniger / 
Plasmaoberflächenmodofikation
siehe auch GaLa Instrumente Plasma

Einsatzgebiete für die Plasmainstrumente sind  Veraschen von organischen Filterbestandteilen in der Asbestanalytik, Reinigung von TEM-Blenden und allen Probenoberflächen, Anätzen von Polymerstrukturen, ätzen von Passivierungsschichten, ätzen von Silizium-Nitrid-Schichten, Reinigung und Modifikation von Oberflächen, uvm.. Bei dem K1050X handelt es sich um ein Zylinder-Plasma-Gerät zur isotropen Veraschung/Ätzung. Ein gerichtetes Plasma ist hiermit nicht möglich.

Literatur zu den verschiedensten Anwendungen.

Ý zum Anfang  

The POLARON Range Plasmaverascher K1050X mit Zubehör

K1050X Zylinder-Plasmaverascher - Automatik einfach zu bedienendes Gerät mit allen Grundfunktionen für reinigen/ätzen/veraschen/Oberflächenmodifikation Reaktorzylinder Ø 10cm x Länge 15cm, liegend   Quarzglas Rezipient (auch für aggressive Gase wie CF4)   aufwendiges Gasverteilersystem im Reaktorraum   automatischer Prozessablauf für reproduzierbare Präparationen  (Mikroprozessor) Einknopfbedienung mit automatischem Prozessablauf nach Voreinstellungen   Vakuumanzeige (Penning bis 10-5 mbar) zur Kontrolle des Reaktorvakuums   digitale Leistungseinstellung   Leistung bis max. 150 W bei 13,65 MHz    automatische Feinabstimmung für Eingangs- & Ausgangsleistung (Halbleitertechnologie)   Kontrolle für Eingangs- & Ausgangsleistung über je eine Messanzeige   einstellbare Prozessdauer von 1 Minute - 99,99 Stunden   genaue Kontrolle von 2 Reaktionsgasen mit 2 Gasdurchflussmessern   (kalibriert 5 to 100cm3/m Luft @ A.T.P.) 450mm b x 350 mm t x 300 mm h, 40 kg K1050T Zylinder-Plasmaverascher - Automatik mit Turbomolekularpumpe und Membran-Vorpumpe (ölfrei) Turbomolekularpumpe 60l/s                     Membran-Vorpumpe 23l/min

Zubehör  EK4221 Widerstandsmanometer (notwendig für den Einsatz mit aggressiven Gasen wie CF4)   Vakuumpumpe mit Diester-Öl für Anwendungen mit Sauerstoff oder Luft   2-stufige Drehschieber-Vorpumpe, Leistung 5m3/h, Ölnebelfilter  Der Betrieb der Pumpe mit Diester-Öl ist für die Veraschung mit Sauerstoff notwendig!  Aufdampfanlage/Kohlebeschichtung   Gefriertrockner   Glow Discharge   Kritisch-Punkt-Trockner     Kryopräparationsanlage  Kühltisch REM   Plasmareiniger   Sputter Coater

Literatur zu Plasmaanwendungen 

Ý zum Anfang

...zurück zu Quorum Übersicht

direkt zu...

www.sputtercoater.com   www.sputtercoating.com   www.criticalpointdryer.com   www.electron-microscopy.com