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   Instrumente für die Probenpräparation 
   in der Elektronenmikroskopie



Award_DistributorOfTheYear_2009.jpg (910689 Byte)
    
Auszeichnung:
       Wiederverkäufer des Jahres 2009

Quorum Technologies gibt
3 Jahre
Garantie auf alle Geräte
 



Plasmaverascher / Plasmaätzer / Plasmareiniger / 
Plasmaoberflächenmodofikation

siehe auch GaLa Instrumente Plasma

Emitech Bei dem K1050X handelt es sich um ein Zylinder-Plasma-Gerät zur isotropen Veraschung/Ätzung.

Bei dem K1050X handelt es sich um ein Zylinder-Plasma-Gerät zur isotropen Veraschung/Ätzung.

Einsatzgebiete für die Plasmainstrumente sind  Veraschen von organischen Filterbestandteilen in der Asbestanalytik, Reinigung von TEM-Blenden und allen Probenoberflächen, Anätzen von Polymerstrukturen, ätzen von Passivierungsschichten, ätzen von Silizium-Nitrid-Schichten, Reinigung und Modifikation von Oberflächen, uvm.. Bei dem K1050X handelt es sich um ein Zylinder-Plasma-Gerät zur isotropen Veraschung/Ätzung. Ein gerichtetes Plasma ist hiermit nicht möglich.

Literatur zu den verschiedensten Anwendungen.

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The POLARON Range Plasmaverascher K1050X mit Zubehör
  • K1050X Zylinder-Plasmaverascher - Automatik
    • einfach zu bedienendes Gerät mit allen Grundfunktionen für reinigen/ätzen/veraschen/Oberflächenmodifikation
    • Reaktorzylinder Ø 10cm x Länge 15cm, liegend  
    • Quarzglas Rezipient (auch für aggressive Gase wie CF4)  
    • aufwendiges Gasverteilersystem im Reaktorraum  
    • automatischer Prozessablauf für reproduzierbare Präparationen  (Mikroprozessor)
    • Einknopfbedienung mit automatischem Prozessablauf nach Voreinstellungen  
    • Vakuumanzeige (Penning bis 10-5 mbar) zur Kontrolle des Reaktorvakuums  
    • digitale Leistungseinstellung  
    • Leistung bis max. 150 W bei 13,65 MHz   
    • automatische Feinabstimmung für Eingangs- & Ausgangsleistung (Halbleitertechnologie)  
    • Kontrolle für Eingangs- & Ausgangsleistung über je eine Messanzeige  
    • einstellbare Prozessdauer von 1 Minute - 99,99 Stunden  
    • genaue Kontrolle von 2 Reaktionsgasen mit 2 Gasdurchflussmessern  
      (kalibriert 5 to 100cm3/m Luft @ A.T.P.)
    • 450mm b x 350 mm t x 300 mm h, 40 kg

  • K1050T Zylinder-Plasmaverascher - Automatik mit Turbomolekularpumpe und Membran-Vorpumpe (ölfrei)
    • Turbomolekularpumpe 60l/s                    
    • Membran-Vorpumpe 23l/min
      k1050T_back.jpg (7322 Byte)

Zubehör 

  • EK4221 Widerstandsmanometer (notwendig für den Einsatz mit aggressiven Gasen wie CF4)  
  • Vakuumpumpe mit Diester-Öl für Anwendungen mit Sauerstoff oder Luft
  • duo5pump.jpg (29922 Byte)  2-stufige Drehschieber-Vorpumpe, Leistung 5m3/h, Ölnebelfilter 

Der Betrieb der Pumpe mit Diester-Öl ist für die Veraschung mit Sauerstoff notwendig! 


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Literatur zu Plasmaanwendungen 

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