Q300

* Sputter Coater für hochauflösenden Schichten

* Magnetronköpfe für „kalte“ Beschichtung

* automatisch arbeitendes Ventil für Prozessgasmenge
(Einstellung über Prozessvakuum)

* vollautomatischer Beschichtungsablauf für reproduzierbare Schichten

* farbiger Touchscreen (TFT, 145 mm Diagonale) für Eingabe von Parametern, Speichern, Abrufen und Verändern von Programmen, Anzeige von Prozessablauf und Prozessparametern

* Einrichten und Verwalten von Nutzerrechten

* einstellbarer Sputterstrom unabhängig vom Vakuum, max. 80 mA/Magnetron

* vorwählbare Sputterzeit, 5 Sekunden bis 60 Minuten, ohne Vakuumbruch
Wenn mit hohem Sputterstrom gearbeitet wird legt das Gerät Zwangspausen ein (7 Minuten).

* sehr großer Rezipient, Glas 127 mm h x 283 mm Æ, Implosionsschutz

* ausfahrbarer Galgen für extra hohes Glas
(hohes Glas ist Aufpreis pflichtige Option)

* 2 Gasanschlüsse (1 x Ar Prozessgas, 1 x N₂ Spülung/Belüftung)

* automatische Ventilsteuerung für Prozessgas/spülen/belüften

* integrierte digitale Zeitschaltuhr für reproduzierbare Beschichtungszeiten

* Pirani Vakuummessröhre, Anzeige max. 5 x 10^-4 mbar, danach „High Vacuum“ (”Full Range Gauge” Penning Messröhre Option)

* Coat Log, speichert die letzten 100 Beschichtungsabläufe

* Ethernet Netzwerkanschluss für Fernzugriff oder Softwareupdates

* Blindleistungskompensierung für geringeren Stromverbrauch

* incl. Sputtertargets

* incl. Vakuumschlauch, Prozessgasschlauch und Verbindungsmaterial

Achtung!

Für den Betrieb benötigen Sie eine Flasche Argon und einen 2-stufigen Druckminderer mit 4 mm Schlauchtülle. Empfohlene Reinheit für Standardvergrößerungen 4.8, für Hochauflösung 5.0.

Optional: N2-Flaschengas für Spülung & Belüftung.
 

Q300RT

* Allgemeine Spezifikationen wie oben aufgeführt

* 3 Magnetronköpfe für gleichmäßige Beschichtung von großen Flächen,
Ø ca. 20 cm

* für kleine Proben Beschichtung mit nur einem Target möglich

* Beschichtung nur mit Gold, Gold-Palladium, Platin, Platin-Palladium und Silber möglich

* Rotierender Probentisch 8“, nicht kippbar, 30 – 80 UPM

* incl. 3 Goldtargets

* incl. Vakuumschlauch, Prozessgasschlauch und Verbindungsmaterial

Gewicht: 36,5 kg,
Maße: 585 mm b x 470 mm t x 410 mm h (mit Standardglas)

Vakuumpumpe

2-stufige Drehschieberpumpe, ca. 10 m³/h, max. 1 x 10^-2 mbar,
incl. Installationsmaterial für Geräteanschluss 

Ölnebelfilter, regenerierbar
 

Q300TT

* Allgemeine Spezifikationen wie oben aufgeführt

* 3 Magnetronköpfe für gleichmäßige Beschichtung von großen Flächen, Ø ca. 20 cm

* Beschichtung mit Edelmetallen und oxidierenden Metallen
(siehe Targetliste)

* Rotierender Probentisch 8“, nicht kippbar, 30 – 80 UPM

* Automatisch einschwenkende Blende bei Anwendung mit oxidierenden Materialien (elektrischer Nichtleiter)

* Integrierte Turbomolekularpumpe, 70 l/s, luftgekühlt,
max. 5 x 10^-5 mbar

* incl. 3 Chromtargets

* incl. Vakuumschlauch, Prozessgasschlauch und Verbindungsmaterial

Gewicht: 36,5 kg,
Maße: 585 mm b x 470 mm t x 410 mm h (mit Standardglas)

Vorpumpe:

2-stufige Drehschieberpumpe, ca. 5 m³/h, max. 1 x 10^-2 mbar,
incl. Installationsmaterial für Geräteanschluss 

Ölnebelfilter, regenerierbar

oder

Membranvorpumpe für öl-freies Vakuum, max. 4 mbar, 2.2 m³/h
 

Q300TD

* Allgemeine Spezifikationen wie oben aufgeführt

* 2 Magnetronköpfe für sequentielle Beschichtung mit 2 verschiedenen Materialien ohne Vakuumbruch

* Beschichtung mit Edelmetallen und oxidierenden Metallen
(siehe Targetliste)

* Eine Beschichtung kann bis zu 5 Sputterprofile enthalten

* Automatisch einschwenkende Blende bei Anwendung mit oxidierenden Materialien (elektrischer Nichtleiter)

* Rotierender Probentisch 4“, nicht kippbar, 14 – 38 UPM

* Integrierte Turbomolekularpumpe, 70 l/s, luftgekühlt, max. 5 x 10^-5 mbar

* incl. 1 Chromtarget & 1 Goldtarget

* incl. Vakuumschlauch, Prozessgasschlauch und Verbindungsmaterial

Gewicht: 36,5 kg,
Maße: 585 mm b x 470 mm t x 410 mm h (mit Standardglas)

Vorpumpe:

2-stufige Drehschieberpumpe, ca. 5 m³/h, max. 1 x 10^-2 mbar,
incl. Installationsmaterial für Geräteanschluss 

Ölnebelfilter, regenerierbar

oder

Membranvorpumpe für öl-freies Vakuum, max. 4 mbar, 2.2 m³/h
 

10731

Nur für Q300RT
Pumpstutzen für Vakuumschlauchanschluss, Winkel 90° drehbar, falls Abstellfläche nicht min. 55 cm tief ist

10454

Nur für Q300RT / Nur für Q300TT
Schichtdickenmonitor für die Steuerung der Schichtdicke

11577

Nur für Q300RT / Nur für Q300TT
Innenverkleidung der Vakuumkammer zur Verminderung von Sputterschichten auf Glasrezipient

10422

Nur für Q300TT und Q300TD
Pumpstutzen für Vakuumschlauchanschluss, Winkel 90° drehbar, falls Abstellfläche nicht min. 55 cm tief ist

10428

Nur für Q300TT und Q300TD
Penning Vakuummessröhre „full range“ für Anzeige im Hochvakuumbereich

10779

Nur für Q300TD
2 Schichtdickenmonitore für die Steuerung der Schichtdicke von unterschiedlichen Materialien bei sequentieller Beschichtung

11576

Nur für Q300TD
Innenverkleidung der Vakuumkammer zur Verminderung von Sputterschichten auf Glasrezipient

10596

Extra hoher Glasrezipient (214 mm h x 283 mm Ø), empfohlen für größeren Abstand Sputterquelle / Probenoberfläche bei hohen Proben

10067

Rotierender Probentisch, Standard, Æ 50 mm, mit Aussparungen für 6 Standard Probenstubs

10357

Rotierender Probentisch bis 30° kippbar, Æ 50 mm,  mit Aussparungen für 6 Standard Probenstubs

10358

Rotierender Probentisch mit Aufnahme für 2 Glasobjektträger 75 mm x 25 mm

10360

RotaCota, planetarischer Probentisch mit variabel einstellbarem Kippwinkel, Æ 50 mm,  mit Aussparungen für 6 Standard Probenstubs

10787

Probentisch für Aufnahme von 4“ Wafer

10994

Probentisch für Aufnahme von 6“ Wafer, exzentrisch rotierende Probenbühne

11223

Abschließbarer Not-Aus Schalter