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Sputter Coater für die hochaufloesende Beschichtung mit Edelmetall oder oxidierenden Metallen
7680, SC5100, SC5000
Sputter Coater für
elektrisch leitende Beschichtungen in
der Elektronenmikroskopie und Dünnschichttechnik
Beschichtung
auf Glas |
Gerade heutzutage, wo man nicht nur mit
Feldemissions-Elektronenmikroskopen sehr stark vergrößern kann, ist eine gute
Präparation nicht zu unterschätzen. Bei Elektronenmikroskopen mit einer
Auflösung von 20 nm brauchte man sich wegen einer relativ grobkörnigen und dicken
Beschichtung keine Gedanken zu machen. Heute jedoch erreicht man ohne großen
Aufwand 3-7 nm und ist somit auf eine optimale Probenbeschichtung angewiesen. |
Unabhängige Analyse der SC7640
Beschichtungsqualität
von
nanoAnalytics |
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Die neue Q Sputter Coater-Serie wurde für die
unterschiedlichsten Probengrößen und Anwendungen entwickelt.
Der Zusatz R
bezeichnet die Geräte mit einer normalen 2-stufigen Drehschieberpumpe (Roughing
Pump).
Die Geräte mit der Zusatzbezeichnung T verfügen über über eine Turbomolekularpumpe, um vor dem Sputterprozess ein möglichst sauerstofffreies Vakuum für oxidierende
Beschichtungsmaterialien (Targets) zu erzeugen. Zudem haben diese Sputter
Coater sehr starke und aufwändige Magnetronköpfe mit einer unvergleichbar großen Auswahl an Targets
für die hochauflösende Beschichtung (z.B. Chuom oder Iridium).
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Bei der Q150er Serie beträgt der Glasdurchmesser 15 cm. Das
ist für die meisten Proben in der Elektronenmikroskopie
ausreichend. Für die Gleichmäßige Beschichtung von größeren
Proben wie 4", 6" oder 8" Wafer sind die Geräte der
Q300 Serie
mit einem Durchmesser von 28 cm und
3 Magnetronköpfen bestens geeignet.
Durch eine große Auswahl an optionalen Probenbühnen
können auch schwierige Proben, z.B. mit sehr hoher
Topographie, erfolgreich beschichtet werden.
Nehmen Sie mit uns Kontakt auf. Wir beraten Sie gerne. |
Vorvakuum:
Beschichtung mit Edelmetallen
| SC7620 |
Sehr kleiner Sputter Coater für gelegentliche und einfache Beschichtungen, manuell |
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Q150RS
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Vollautomatik |
| Q150RES |
Vollautomatik mit Kohlebeschichtung |
| Q300RT |
Vollautomatik, großer Rezipient, 3
Magnetronköpfe |
Hochvakuum: Beschichtung mit Edelmetallen und oxidierenden Metallen |
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Q150TS |
Hochauflösung,
Vollautomatik |
| Q150TES |
Hochauflösung,
Vollautomatik mit Kohlebeschichtung |
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Q300TT |
Großer
Rezipient, Hochauflösung,
Vollautomatik,
3 Magnetronköpfe für 8" Wafer und besonders gleichmäßige Beschichtung
großer Flächen |
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Q300TD |
Großer
Rezipient, Hochauflösung, Vollautomatik, 2
Magnetronköpfe für 6" Wafer und sequentielle Beschichtung mit 2
verschiedenen Materialien ohne
Vakuumbruch |
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zum
Anfang
The EMITECH Range Sputter Coater SC7600-Serie
SC7620 Mini Sputter
Coater (nur für Edelmetalle)
- Rezipient, Ø 10 cm / Höhe 13,5
cm
- Magnetron-Kopf für die "kalte"
Probenbeschichtung, Scheibentarget
- Sputterstrom über Argon-Nadelventil
einstellbar
- höhenverstellbarer Probentisch für optimale
Beschichtung
- Beglimmung (glow discharge) durch Umpolung für
Oberflächenmodifikation (hydrophil/hydrophob)
- 3-Minuten Zeitschaltuhr, 15 Sekundenschritte
- incl. Gold-Palladium-Target, 1 m Vakuumschlauch, Schlauchflansch
& Schlauchschelle
Option: Kohlefadenbeschichtung
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Bei der Option
Kohlefadenbeschichter handelt es sich um eine
Widerstandsverdampfung.
Mit Kohlefaden werden Proben beschichtet die mit EDX oder WDX analysiert
werden sollen.
Kohlenstoff, als relativ schlechter elektrischer Leiter, hat den großen
Vorteil, dass nur ein Elementpeak links von den "leichten Elementen"
erzeugt wird und damit keine leichten Elemente überlagert.
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SC7620 & SC7625-F Kohlefadenbeschichter-Zusatz |
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SC7620F Kopfeinheit mit
Halterung für Kohlefaden |
Verbrauch:
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Scheibentarget
Æ
57mm
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502-314-A Gold (Au)
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502-314-B Gold-Palladium (Au/Pd)
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502-314-C Platin (Pt)
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502-314-E
Silber (Ag) |
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zum
Anfang |
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| C5421 Kohleschnur |
| C5421-10
Kohleschnur, 10m, 1.5 g/m |
Irrtümer
in technischer Beschreibung vorbehalten.
Aufdampfanlage/Kohlebeschichtung Gefriertrockner
Glow
Discharge
Kritisch-Punkt-Trockner
Kryopräparationsanlage Kühltisch
REM Plasmareiniger
Sputter
Coater
zum
Anfang
Siehe auch www.sputter-coater.com
www.sputter-coater.de
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(Bild) 
